FEI Nova NanoSEM是一款具有低真空超高分辨能力的场发射扫描电镜，可将样品浸于物镜磁场中，并可通过透镜的二次电子探测器进行观测，还具有镜筒内电子束减速模式等；，配合拉伸弯曲附件，可观测材料在拉伸或弯曲状态下的滑移、形变、断裂等全过程。
分辨率：二次电子成像：高真空1.0nm @15kV；1.6nm @1kV。低真空1.5nm @ 10kV；1.8nm @ 3kV)；背散射电子成像：＜2.5nm @ 30kV。
