仪器用途：
TESCAN VEGA3 SBH是一款完全由计算机控制的高真空型全自动钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台，其操作系统配置了包括中文在内的多语种扫描电镜操作界面（唯一使用核心汉化操作软件的扫描电镜），获取图片后可以用常见的标准格式存储图像，强化了图片归档、图像处理和测量、电镜自动化及其他的一些自动功能。适用于芯片、高分子材料、粉末等所有体积小，重量较轻的样品观察。
技术参数：
分辨率:(二次电子)3.0nm at 30kv，(背散射电子):3.5 nm at 30 kV
放大倍数:3 to 100000×
加速电压0.2kV to 30kV
电子束电流1pA~2uA
样品台行程:3轴马达控制（X=45mm—马达控制；Y=45mm—马达控制；Z=27mm—手动控制；Z'=6mm—手动控制；R=360°连续马达控制；T=-90°至+90°手动）
