生产厂家：FEI Czech Republic s.r.o/捷克。
主要规格及技术指标：最大加速电压200kV，电压连续可调，最高点分辨率达0.24 nm，线分辨率达0.14nm。
主要附件：EDAX能谱仪。
主要功能：①图像功能：明场像、暗场像、选区电子衍射、高分辨晶格像；②定性分析；③定量分析；确定微区化学成分。
