双束显微镜系统配备有多种探头：DBS、STEM、MD、ICD、TLD及ETD。可用于样品微观形貌观测，同时可对样品进行精密加工，包括：离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积、高质量定点TEM样品制备，配合能谱及背散射衍射系统还可分析样品微区成分、测定晶粒取向分布。
技术指标：电子束分辨率：0.6nm@2kV；0.7nm@1kV；1.0nm@500V。离子束分辨率：4.0nm@30kV。STEM分辨率：0.6nm@30kV。
